載板電鍍的工藝流程包括:清潔、脫脂、進料、化學處理、水洗、電解沉積、除膠、終檢等環(huán)節(jié)。其中,化學處理是整個工藝流程中重要的環(huán)節(jié),其影響電鍍效果的因素包括電壓、電流、電解質(zhì)濃度、流速等。
鍍層幾何參數(shù):控制是基礎
載板的超細線路 / 凸點對幾何尺寸要求,偏差會直接導致封裝失效(如鍵合不良、短路)。
檢測項目 核心標準要求 檢測工具
鍍層厚度 - 圖形銅:厚度偏差≤±10%(如設計 10μm,實際需在 9-11μm);
- 鎳層:2-5μm,偏差≤±0.5μm;
- 金層:0.05-0.15μm(ENEPIG),偏差≤±20% X 射線熒光測厚儀(XRF)、金相顯微鏡
凸點尺寸(Bump) - 直徑偏差≤±5%(如設計 50μm,實際 47.5-52.5μm);
- 高度偏差≤±8%;
- 同一載板凸點高度差≤5μm 激光共聚焦顯微鏡、3D 輪廓儀
線路 / 焊盤精度 - 線寬偏差≤±10%(如設計 15μm,實際 13.5-16.5μm);
- 焊盤直徑偏差≤±5%;
- 線路邊緣粗糙度(Ra)≤1μm
載板電鍍檢測需嚴格遵循標準,確保一致性和可靠性,常用標準包括:
IPC 標準:
IPC-6012DS:《剛性印制板的鑒定與性能規(guī)范(載板專用補充版)》,明確載板鍍層厚度、附著力要求;
IPC-TM-650:《印制板測試方法手冊》,包含鍍層厚度、附著力、孔隙率等測試方法。
JEDEC 標準:
JEDEC JESD22-A108:《集成電路封裝的電遷移測試》;
JEDEC JESD22-B103:《高溫存儲測試》,用于評估鍍層長期耐熱性。
企業(yè)定制標準:
主流封裝廠(如臺積電、長電科技)會在上述標準基礎上提出更嚴格要求(如凸點高度偏差≤±5%),需根據(jù)具體訂單調(diào)整檢測閾值。
石墨烯孔金屬化工藝是與傳統(tǒng)化學銅,黑影/日蝕等平行的線路板孔金屬化技術(shù),屬于直接電鍍工藝,其特點可靠,低成本,低碳環(huán)保節(jié)能降耗,可循環(huán)再利用。