注意事項(xiàng)
1.化學(xué)處理液的濃度和電流要控制在合理的范圍內(nèi),否則會(huì)使電鍍層厚度和均勻度出現(xiàn)不合格情況。
2.金屬載板的質(zhì)量和表面處理決定了電鍍層質(zhì)量的好壞。
3.電鍍過(guò)程容易產(chǎn)生熱量,需要及時(shí)流動(dòng)冷卻水,并注意防止電解質(zhì)濺出。
4.電極需要保持干凈,以確保電流正常穩(wěn)定。
鍍層幾何參數(shù):控制是基礎(chǔ)
載板的超細(xì)線路 / 凸點(diǎn)對(duì)幾何尺寸要求,偏差會(huì)直接導(dǎo)致封裝失效(如鍵合不良、短路)。
檢測(cè)項(xiàng)目 核心標(biāo)準(zhǔn)要求 檢測(cè)工具
鍍層厚度 - 圖形銅:厚度偏差≤±10%(如設(shè)計(jì) 10μm,實(shí)際需在 9-11μm);
- 鎳層:2-5μm,偏差≤±0.5μm;
- 金層:0.05-0.15μm(ENEPIG),偏差≤±20% X 射線熒光測(cè)厚儀(XRF)、金相顯微鏡
凸點(diǎn)尺寸(Bump) - 直徑偏差≤±5%(如設(shè)計(jì) 50μm,實(shí)際 47.5-52.5μm);
- 高度偏差≤±8%;
- 同一載板凸點(diǎn)高度差≤5μm 激光共聚焦顯微鏡、3D 輪廓儀
線路 / 焊盤(pán)精度 - 線寬偏差≤±10%(如設(shè)計(jì) 15μm,實(shí)際 13.5-16.5μm);
- 焊盤(pán)直徑偏差≤±5%;
- 線路邊緣粗糙度(Ra)≤1μm
電氣性能:保障信號(hào)傳輸與電流承載
載板需滿(mǎn)足高頻、大電流封裝場(chǎng)景,電氣性能是核心指標(biāo)。
鍍層電阻:
標(biāo)準(zhǔn):銅鍍層電阻率≤1.72×10??Ω?m(接近純銅理論值,雜質(zhì)會(huì)導(dǎo)致電阻升高);
檢測(cè)工具:四探針電阻測(cè)試儀。
電遷移抗性:
標(biāo)準(zhǔn):在 1×10?A/cm2 電流密度、125℃環(huán)境下,銅鍍層電遷移失效時(shí)間≥1000h(避免長(zhǎng)期使用中因金屬遷移導(dǎo)致短路);
檢測(cè)方法:JEDEC JESD22-A108 電遷移測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。
生產(chǎn)效率
水平線生產(chǎn)速度1.5-6.0m/min,具體根據(jù)基材厚度,小孔徑,盲孔,縱橫比等參數(shù)調(diào)整,整個(gè)流程時(shí)間在4-10min;
導(dǎo)通能力
No ICD,IST測(cè)試(百萬(wàn)通孔測(cè)試) CAF測(cè)試(小間距CAF改善)