載板電鍍的工藝流程包括:清潔、脫脂、進(jìn)料、化學(xué)處理、水洗、電解沉積、除膠、終檢等環(huán)節(jié)。其中,化學(xué)處理是整個(gè)工藝流程中重要的環(huán)節(jié),其影響電鍍效果的因素包括電壓、電流、電解質(zhì)濃度、流速等。
載板電鍍是先進(jìn)封裝載板(如 IC 載板、扇出型封裝載板等)制造中的核心工藝,其質(zhì)量直接決定載板的電氣性能、可靠性及封裝良率。由于載板需實(shí)現(xiàn)高密度互連(HDI)、超細(xì)線路 / 焊盤(pán)(線寬 / 線距常<20μm)及承載芯片的高可靠性要求,其電鍍工藝及質(zhì)量檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)遠(yuǎn)高于傳統(tǒng) PCB,核心圍繞 “鍍層均勻性、致密度、附著力、純度” 四大維度展開(kāi)
鍍層微觀質(zhì)量:避免內(nèi)部缺陷影響可靠性
載板鍍層的致密度、純度直接影響電氣性能(如電阻、遷移風(fēng)險(xiǎn))和耐腐蝕性。
孔隙率:
標(biāo)準(zhǔn):銅鍍層孔隙率≤1 個(gè) /cm2(用酸性硫酸銅溶液測(cè)試,孔隙會(huì)析出銅粉);鎳層孔隙率≤0.5 個(gè) /cm2;
檢測(cè)工具:孔隙率測(cè)試儀、SEM(觀察微觀孔洞)。
晶粒結(jié)構(gòu):
標(biāo)準(zhǔn):銅鍍層晶粒均勻,平均晶粒尺寸 50-200nm(晶粒過(guò)粗易導(dǎo)致鍍層脆化,過(guò)細(xì)易產(chǎn)生應(yīng)力);
檢測(cè)工具:透射電鏡(TEM)、X 射線衍射儀(XRD)。
雜質(zhì)含量:
標(biāo)準(zhǔn):高純度銅鍍層(99.99% 以上),雜質(zhì)(如 Fe、Zn、Pb)總含量≤50ppm;鎳鍍層雜質(zhì)總含量≤100ppm;
檢測(cè)工具:電感耦合等離子體質(zhì)譜(ICP-MS)。
石墨烯孔金屬化工藝是與傳統(tǒng)化學(xué)銅,黑影/日蝕等平行的線路板孔金屬化技術(shù),屬于直接電鍍工藝,其特點(diǎn)可靠,低成本,低碳環(huán)保節(jié)能降耗,可循環(huán)再利用。