載板電鍍是先進(jìn)封裝載板(如 IC 載板、扇出型封裝載板等)制造中的核心工藝,其質(zhì)量直接決定載板的電氣性能、可靠性及封裝良率。由于載板需實(shí)現(xiàn)高密度互連(HDI)、超細(xì)線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)及承載芯片的高可靠性要求,其電鍍工藝及質(zhì)量檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)遠(yuǎn)高于傳統(tǒng) PCB,核心圍繞 “鍍層均勻性、致密度、附著力、純度” 四大維度展開
鍍層微觀質(zhì)量:避免內(nèi)部缺陷影響可靠性
載板鍍層的致密度、純度直接影響電氣性能(如電阻、遷移風(fēng)險(xiǎn))和耐腐蝕性。
孔隙率:
標(biāo)準(zhǔn):銅鍍層孔隙率≤1 個(gè) /cm2(用酸性硫酸銅溶液測(cè)試,孔隙會(huì)析出銅粉);鎳層孔隙率≤0.5 個(gè) /cm2;
檢測(cè)工具:孔隙率測(cè)試儀、SEM(觀察微觀孔洞)。
晶粒結(jié)構(gòu):
標(biāo)準(zhǔn):銅鍍層晶粒均勻,平均晶粒尺寸 50-200nm(晶粒過(guò)粗易導(dǎo)致鍍層脆化,過(guò)細(xì)易產(chǎn)生應(yīng)力);
檢測(cè)工具:透射電鏡(TEM)、X 射線衍射儀(XRD)。
雜質(zhì)含量:
標(biāo)準(zhǔn):高純度銅鍍層(99.99% 以上),雜質(zhì)(如 Fe、Zn、Pb)總含量≤50ppm;鎳鍍層雜質(zhì)總含量≤100ppm;
檢測(cè)工具:電感耦合等離子體質(zhì)譜(ICP-MS)。
載板電鍍檢測(cè)需嚴(yán)格遵循標(biāo)準(zhǔn),確保一致性和可靠性,常用標(biāo)準(zhǔn)包括:
IPC 標(biāo)準(zhǔn):
IPC-6012DS:《剛性印制板的鑒定與性能規(guī)范(載板專用補(bǔ)充版)》,明確載板鍍層厚度、附著力要求;
IPC-TM-650:《印制板測(cè)試方法手冊(cè)》,包含鍍層厚度、附著力、孔隙率等測(cè)試方法。
JEDEC 標(biāo)準(zhǔn):
JEDEC JESD22-A108:《集成電路封裝的電遷移測(cè)試》;
JEDEC JESD22-B103:《高溫存儲(chǔ)測(cè)試》,用于評(píng)估鍍層長(zhǎng)期耐熱性。
企業(yè)定制標(biāo)準(zhǔn):
主流封裝廠(如臺(tái)積電、長(zhǎng)電科技)會(huì)在上述標(biāo)準(zhǔn)基礎(chǔ)上提出更嚴(yán)格要求(如凸點(diǎn)高度偏差≤±5%),需根據(jù)具體訂單調(diào)整檢測(cè)閾值。
生產(chǎn)效率
水平線生產(chǎn)速度1.5-6.0m/min,具體根據(jù)基材厚度,小孔徑,盲孔,縱橫比等參數(shù)調(diào)整,整個(gè)流程時(shí)間在4-10min;
導(dǎo)通能力
No ICD,IST測(cè)試(百萬(wàn)通孔測(cè)試) CAF測(cè)試(小間距CAF改善)