廢ITO靶材回收的核心挑戰(zhàn)在于:
成分復(fù)雜:除In?O?、SnO?外,含粘結(jié)劑、金屬背板(銅/鉬)等。
高純度要求:再生銦純度需達(dá)99.99%以上,雜質(zhì)含量需嚴(yán)格控制在ppm級(jí),否則影響新靶材性能。
銦錫分離:分離銦錫是實(shí)現(xiàn)價(jià)值化的關(guān)鍵。
閉環(huán)工藝:價(jià)值再造的精益之路
ITO(氧化銦錫,Indium Tin Oxide)靶材廣泛應(yīng)用于液晶顯示器、觸摸屏、太陽(yáng)能電池等行業(yè)。隨著ITO靶材的廣泛使用,其回收再利用成為降低成本、減少資源浪費(fèi)、保護(hù)環(huán)境的重要環(huán)節(jié)。
ITO靶材回收流程:
1. 收集廢靶材:收集來(lái)源:面板廠、鍍膜廠等使用ITO靶材的企業(yè)。
2. 表面處理/預(yù)處理 :清洗表面雜質(zhì)、油污、物理去除殘留膜層
3. 靶材分離:機(jī)械切割或分解、分離金屬基板與ITO涂層
4. 濕法冶金回收:用酸(如硝酸、鹽酸等)溶解ITO層、萃取液中回收銦和錫元素
5. 純化與精煉 萃取、沉淀等精細(xì)化學(xué)手段,獲得高純度的銦、錫化合物
6. 再利用 提純后的銦、錫用于制備新ITO靶材或其他用途
從電子廢物和廢ITO靶材等廢物來(lái)源中回收氧化銦是銦回收的一個(gè)重要方面。從這些廢源中回收氧化銦可以通過(guò)各種工藝實(shí)現(xiàn),包括化學(xué)處理、溶劑萃取和離子交換,回收的氧化銦可用于生產(chǎn)各種半導(dǎo)體器件,從而減少對(duì)新銦資源的需求,并將銦開采對(duì)環(huán)境的影響降至。