先進(jìn)封裝技術(shù)
應(yīng)用:在芯片倒裝焊(Flip Chip)中作為焊料或熱界面材料,實(shí)現(xiàn)芯片與基板的電氣連接和熱傳導(dǎo)。
特點(diǎn):低熔點(diǎn)(156.6℃)和高可靠性,適用于精密電子器件的低溫封裝。
濺射時(shí)間與沉積厚度
厚度監(jiān)控:使用石英晶體微天平(QCM)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜沉積速率,結(jié)合靶材消耗速率(約 0.1~0.5 μm/min,與功率相關(guān)),控制濺射時(shí)間。
靶材利用率:避免過度濺射導(dǎo)致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 時(shí)需及時(shí)更換),通常平面靶材利用率約 30%~40%,旋轉(zhuǎn)靶可提升至 60% 以上。
真空系統(tǒng)維護(hù)
腔體清潔:每次濺射后及時(shí)清理腔體內(nèi)壁及基片臺(tái)的銦沉積層(銦延展性強(qiáng),易粘附在腔體表面,長(zhǎng)期積累可能導(dǎo)致短路或影響真空度)。
可用棉簽蘸取乙醇擦拭,或用軟質(zhì)刮刀輕輕刮除(避免損傷腔體涂層)。
真空泵保養(yǎng):定期更換真空泵油(因銦蒸氣可能污染泵油,建議每 200 小時(shí)檢查一次),防止油液粘度升高影響抽氣效率。
小金屬:粗銦,精銦,ito銦靶材,粗稼,金屬鎵99.99以及廢料。高價(jià)回收鎳片,銑刀, 數(shù)控刀片, 輕質(zhì)數(shù)控刀,廢合金針,針尖,銦.銦絲.氧化銦.
高價(jià)回收鎳片,鎳泥,鎳催化劑,含鎳物料,銑刀, 數(shù)控刀片, 輕質(zhì)數(shù)控刀,廢合金針,針尖,高價(jià) 回收 ( 鉭 ) 鉭絲 鉭粉 鉭電容 鉭鈮 鉭鎢 ,銦.銦絲.氧化銦.金.金屬鍺.鍺錠99.999等.