大多數(shù)麥克風(fēng)都是駐極體電容器麥克風(fēng)（ECM），這種技術(shù)已經(jīng)有幾十年的歷史。ECM 的工作原理是利用具有電荷隔離的聚合材料振動(dòng)膜。與ECM的聚合材料振動(dòng)膜相比，MEMS麥克風(fēng)在不同溫度下的性能都十分穩(wěn)定，不會(huì)受溫度、振動(dòng)、濕度和時(shí)間的影響。由于耐熱性強(qiáng)，MEMS麥克風(fēng)可承受260℃的高溫回流焊，而性能不會(huì)有任何變化。由于組裝前后敏感性變化很小，這甚至可以節(jié)省制造過程中的音頻調(diào)試成本。目前，集成電路工藝正越來越廣泛地被應(yīng)用在傳感器及傳感器接口集成電路的制造中。這種微制造工藝具有、設(shè)計(jì)靈活、尺寸微型化、可與信號(hào)處理電路集成、低成本、大批量生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)。早期微型麥克風(fēng)是基于壓阻效應(yīng)的，有研究報(bào)道稱，制作了以(1×1)cm2、2μm厚的多晶硅膜為敏感膜的麥克風(fēng)。但是，在敏感膜內(nèi)不存在應(yīng)力的情況下，這樣大并且很薄的多晶硅膜的一階諧振頻率將低于300Hz。一階諧振頻率在這樣低的頻段范圍內(nèi)將導(dǎo)致麥克風(fēng)在聽覺頻率范圍內(nèi)的頻率響應(yīng)極不均勻(靈敏度的變化量大于40dB)，這對(duì)于麥克風(fēng)應(yīng)用是不可接受的。當(dāng)敏感膜內(nèi)存在張應(yīng)力時(shí)，其諧振頻率將增大，卻以犧牲靈敏度為代價(jià)。當(dāng)然，可以通過調(diào)整敏感膜的尺寸來獲得更高的一階諧振頻率，但是這仍將減小靈敏度。由此可見，壓阻式方案并不適于微型麥克風(fēng)的制造 。
一種可行的解決方案就是采用電容式方案，來制造微型麥克風(fēng)。這一方法的優(yōu)點(diǎn)就是：在集成電路制造工藝中使用的所有材料都可用于傳感器的制造。但是采用單芯片工藝制造微麥克風(fēng)有相當(dāng)難度，因?yàn)樵趦蓚€(gè)電容極板之間的空氣介質(zhì)只能有很小的間隔。而且，由于尺寸的限制，在一些應(yīng)用場(chǎng)合偏置電壓很難滿足?；谏鲜鰡栴}，對(duì)于電容式麥克風(fēng)的研究一直沒有間斷過
總諧波失真(THD)
諧波失真是指輸出信號(hào)比輸入信號(hào)多出的諧波成分。諧波失真由于系統(tǒng)不是完全線性造成的。所有附加諧波電平之和稱為總諧波失真。一般說來，500Hz頻率處的總諧波失真小，因此不少產(chǎn)品均以該頻率的失真作為它的指標(biāo)?？傊C波失真在1%以F，入耳分辨不出來，超過10%就可以明顯聽出失真的成分。數(shù)值越小，音色就更加純凈，表明產(chǎn)品品質(zhì)越高。一般產(chǎn)品的總諧波失真都小于1%（以500Hz頻率測(cè)量）
指向性：
話筒對(duì)于不同方向來的聲音靈敏度會(huì)有所不同，這稱為話筒的方向性。方向性與頻率有關(guān)，頻率越高則指向性越強(qiáng)。為了保證音質(zhì)，要求傳聲器在頻響范圍內(nèi)應(yīng)有比較一致的方向性。方向性用傳聲器正面0°方向和背面180°方向上的靈敏度的差值來表示，差值大于15dB者稱為強(qiáng)方向性話筒。產(chǎn)品說明書上常常給出主要頻率的方向極座標(biāo)響應(yīng)曲線圖案，一般的類型有：?jiǎn)畏较蛐浴靶男巍?；雙方向性“8字型”；和無方向性“圓形”；以及單指向性“超心型”。話筒靈敏度的方向性是選擇話筒的一項(xiàng)重要因素。有的話筒是單方向性的，有的則是全方向性的，也有一些是介于二者之間，其方向性是心形的。
全方向性話筒從各個(gè)方向拾取聲音的性能一致。當(dāng)說話者要來回走動(dòng)時(shí)采用此類話筒較為合適，但在環(huán)境噪聲大的條件下不宜采用。
心形指向話筒的靈敏度在水平方向呈心臟形，正面靈敏度側(cè)面稍小，背面小。這種話筒在多種擴(kuò)音系統(tǒng)中都有的表現(xiàn)。
單指向性話筒又稱為超心形指向性話筒，它的指向性比心形話筒更尖銳，正面靈敏度，其它方向靈敏度急劇衰減，特別適用于高噪音的環(huán)境。
