大多數(shù)麥克風都是駐極體電容器麥克風（ECM），這種技術已經(jīng)有幾十年的歷史。ECM 的工作原理是利用具有電荷隔離的聚合材料振動膜。與ECM的聚合材料振動膜相比，MEMS麥克風在不同溫度下的性能都十分穩(wěn)定，不會受溫度、振動、濕度和時間的影響。由于耐熱性強，MEMS麥克風可承受260℃的高溫回流焊，而性能不會有任何變化。由于組裝前后敏感性變化很小，這甚至可以節(jié)省制造過程中的音頻調試成本。目前，集成電路工藝正越來越廣泛地被應用在傳感器及傳感器接口集成電路的制造中。這種微制造工藝具有、設計靈活、尺寸微型化、可與信號處理電路集成、低成本、大批量生產(chǎn)的優(yōu)點。早期微型麥克風是基于壓阻效應的，有研究報道稱，制作了以(1×1)cm2、2μm厚的多晶硅膜為敏感膜的麥克風。但是，在敏感膜內(nèi)不存在應力的情況下，這樣大并且很薄的多晶硅膜的一階諧振頻率將低于300Hz。一階諧振頻率在這樣低的頻段范圍內(nèi)將導致麥克風在聽覺頻率范圍內(nèi)的頻率響應極不均勻(靈敏度的變化量大于40dB)，這對于麥克風應用是不可接受的。當敏感膜內(nèi)存在張應力時，其諧振頻率將增大，卻以犧牲靈敏度為代價。當然，可以通過調整敏感膜的尺寸來獲得更高的一階諧振頻率，但是這仍將減小靈敏度。由此可見，壓阻式方案并不適于微型麥克風的制造 。
電容型
電容式麥克風有兩塊金屬極板，其中一塊表面涂有駐極體薄膜（多數(shù)為聚全氟乙丙烯）并將其接地，另一極板接在場效應晶體管的柵極上，柵極與源極之間接有一個二極管。當駐極體膜片本身帶有電荷，表面電荷地電量為Q，板極間地電容量為C，則在極頭上產(chǎn)生地電壓U=Q/C，當受到振動或受到氣流地摩擦時，由于振動使兩極板間的距離改變，即電容C改變，而電量Q不變，就會引起電壓的變化，電壓變化的大小，反映了外界聲壓的強弱，這種電壓變化頻率反映了外界聲音的頻率，這就是駐極體傳聲器地工作原理
靈敏度
指麥克風的開路電壓與作用在其膜片上的聲壓之比。實際上，麥克風在聲場必然會引起聲場散射，所以靈敏度有兩種定義。一種是實際作用于膜片上的聲壓，稱為聲壓靈敏度，另一種是指麥克風未置入聲場的聲場聲壓，稱為聲場靈敏度，其中聲場靈敏度又分為自由場靈敏度和擴散場靈敏度。通常錄音用麥克風給出聲壓靈敏度，測量用麥克風因應用類型給出聲壓或聲場靈敏度 。
靈敏度的單位是伏/帕（伏特/帕斯卡，V/Pa），通常使用靈敏度級來表示，參考靈敏度為1V/Pa
指向性：
話筒對于不同方向來的聲音靈敏度會有所不同，這稱為話筒的方向性。方向性與頻率有關，頻率越高則指向性越強。為了保證音質，要求傳聲器在頻響范圍內(nèi)應有比較一致的方向性。方向性用傳聲器正面0°方向和背面180°方向上的靈敏度的差值來表示，差值大于15dB者稱為強方向性話筒。產(chǎn)品說明書上常常給出主要頻率的方向極座標響應曲線圖案，一般的類型有：單方向性“心形”；雙方向性“8字型”；和無方向性“圓形”；以及單指向性“超心型”。話筒靈敏度的方向性是選擇話筒的一項重要因素。有的話筒是單方向性的，有的則是全方向性的，也有一些是介于二者之間，其方向性是心形的。
全方向性話筒從各個方向拾取聲音的性能一致。當說話者要來回走動時采用此類話筒較為合適，但在環(huán)境噪聲大的條件下不宜采用。
心形指向話筒的靈敏度在水平方向呈心臟形，正面靈敏度側面稍小，背面小。這種話筒在多種擴音系統(tǒng)中都有的表現(xiàn)。
單指向性話筒又稱為超心形指向性話筒，它的指向性比心形話筒更尖銳，正面靈敏度，其它方向靈敏度急劇衰減，特別適用于高噪音的環(huán)境。
