半導(dǎo)體無(wú)塵車間凈化工程技術(shù)方案及重點(diǎn)難點(diǎn)處理 廖先生13929437027
做任何行業(yè)的無(wú)塵車間，首先就需要從該行業(yè)的特征和難點(diǎn)出發(fā)，進(jìn)行合理設(shè)計(jì)。半導(dǎo)體是一種導(dǎo)電性可受控制，范圍可從絕緣體至導(dǎo)體之間的材料。半導(dǎo)體的分類，按照其制造技術(shù)可以分為：集成電路組件，分立器件、光電半導(dǎo)體、邏輯IC、模擬IC、儲(chǔ)存器等。日常生活中，我們比較常見的是集成電路和光電半導(dǎo)體。
半導(dǎo)體組件體積小，對(duì)精度要求高，單位通常以微米計(jì)算，半導(dǎo)體無(wú)塵車間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。微塵顆粒沾附在半導(dǎo)體組件上，便很容易造成短路或斷路的嚴(yán)重后果，因此要求所有半導(dǎo)體制程設(shè)備都必須安置在無(wú)塵的密閉空間中。半導(dǎo)體無(wú)塵車間建立的目的是為了過濾循環(huán)空氣建議無(wú)塵環(huán)境，調(diào)節(jié)空氣建立恒溫恒濕環(huán)境，建立正壓環(huán)境避免外氣污染。
無(wú)塵車間圖
半導(dǎo)體無(wú)塵車間潔凈室與各系統(tǒng)關(guān)系如下：
無(wú)塵車間參數(shù)
1.壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa；
2.平均風(fēng)速： 100級(jí)0.3－0.5m/s；
3.噪聲≤65dB（A）；
4.新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10％－30％；
5.照度300LX。
6.溫度：20-26 度， （車間），溫度：12-23度 （用于產(chǎn)品測(cè)試）
7.濕度：50-70%RH，（車間），濕度40-85%RH（用于產(chǎn)品測(cè)試）
8.凈化等級(jí)：100級(jí)－30萬(wàn)級(jí)（用于測(cè)試），1000-30萬(wàn)級(jí)用于生產(chǎn)。
半導(dǎo)體制造對(duì)無(wú)塵車間工程環(huán)境的控制有較為嚴(yán)格的要求，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的無(wú)塵車間工程設(shè)計(jì)方案。
ESD也是半導(dǎo)體制造環(huán)境控制的重要內(nèi)容，靜電釋放可能對(duì)產(chǎn)品和生產(chǎn)設(shè)備造成損害，還可能引起硅片表面塵粒吸附，影響產(chǎn)品的良率。
錫海凈化案例圖
半導(dǎo)體無(wú)塵車間設(shè)計(jì)及運(yùn)行注意事項(xiàng)：
1.半導(dǎo)體潔凈無(wú)塵車間內(nèi)部要確保粉塵只出不進(jìn)，因此潔凈無(wú)塵車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機(jī)將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間
2.為保持恒溫與恒濕，大型空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機(jī)加壓多久，空調(diào)就得開多久。
3.所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動(dòng)方向均由上往下為主，因此，潔凈無(wú)塵車間室內(nèi)空間設(shè)計(jì)或機(jī)臺(tái)擺放應(yīng)避免突兀，使塵埃等在潔凈無(wú)塵車間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)與時(shí)間減至極低程度。
4.半導(dǎo)體潔凈無(wú)塵車間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機(jī)臺(tái)空壓所需要的，都得使用氮?dú)?(98%)，吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈?9.8%以上的高純氮。
錫海凈化案例圖
在半導(dǎo)體無(wú)塵車間的建造過程中，除了廠房的主體結(jié)構(gòu)施工以及上述的重點(diǎn)難點(diǎn)外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調(diào)系統(tǒng)及其風(fēng)管、過濾器的施工安裝、高純水系統(tǒng)及其管線的安裝、高純氣體系統(tǒng)（含特種氣體供應(yīng)等）及其管線安裝、真空系統(tǒng)及其管線的安裝、化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)及其管線的安裝、各種排風(fēng)和排氣系統(tǒng)及其處理設(shè)備的安裝、消防報(bào)警系統(tǒng)及其控制設(shè)備的安裝、變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產(chǎn)工藝設(shè)備及其配管配線的安裝等。