蒸餾水：就是將水蒸餾、冷凝的水,蒸二次的叫重蒸水,三次的叫三蒸水.有時(shí)候?yàn)榱颂厥饽康?在蒸前會(huì)加入適當(dāng)試劑,如為了無氨水,會(huì)在水中加酸；低耗氧量的水,加入高錳酸鉀與酸等.工業(yè)蒸餾水是采用蒸餾水方法取得的純水,一般普通蒸餾取得的水純度不高,經(jīng)過多級(jí)蒸餾水,出水才可達(dá)到很純,成本相對(duì)比較高.2.去離子水就是將水通過陽(yáng)離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹脂）,則水中的陽(yáng)離子被樹脂所吸收,樹脂上的陽(yáng)離子H+被置換到水中,并和水中的陽(yáng)離子組成相應(yīng)的無機(jī)酸；含此種無機(jī)酸的水再通過陰離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強(qiáng)堿性陰離子）OH-被置換到水中,并和水中的H+結(jié)合成水,此即去離子水.去離子水在現(xiàn)代工業(yè)中有著非常廣泛的用途,使用去離子水,是我國(guó)很多行業(yè)提高產(chǎn)品質(zhì)量的,趕超世界先進(jìn)水平的重要手段之一.由于去離子水中的離子數(shù)可以被人為的控制,從而,使它的電阻率、溶解度、腐蝕性、病毒等物理、化學(xué)及病理等指標(biāo)均得到良好的控制.在工業(yè)生產(chǎn)及實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)中,如果涉及到使用水的工藝都被使用了去離子水,那么,許多參數(shù)會(huì)更接近設(shè)計(jì)或理想數(shù)據(jù),產(chǎn)品質(zhì)量將變得易于控制.3.高純水,是指化學(xué)純度的水,其主要應(yīng)用在生物、化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域,但其對(duì)水質(zhì)純度要求相當(dāng)高,所以一般應(yīng)用最普遍的還是電子工業(yè).例如電力系統(tǒng)所用的純水,要求各雜質(zhì)含量低達(dá)到“微克/升”級(jí).在純水的制作中,水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)應(yīng)該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產(chǎn)工藝而定(如普遍認(rèn)為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10),但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多,至今尚無一份由工藝試驗(yàn)得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn).不過近年來電子級(jí)水標(biāo)準(zhǔn)也在不斷地修訂,而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展,新的儀器和新分析方法的不斷應(yīng)用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件.高純水的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168],目前我國(guó)高純水的標(biāo)準(zhǔn)將電子級(jí)水分為五個(gè)級(jí)別：Ⅰ級(jí)、Ⅱ級(jí)、Ⅲ級(jí)、Ⅳ級(jí)和Ⅴ級(jí),該標(biāo)準(zhǔn)是參照ASTM電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)而制定的.4.、而超純水呢,則可以認(rèn)為是一般工藝很難達(dá)到的程度,如水的電阻率大于18MΩ*cm（沒有明顯界線）,則稱為超純水.關(guān)鍵是看你用水的純度及各項(xiàng)征性指標(biāo),如電導(dǎo)率或電阻率,PH值,鈉,重金屬,二氧化硅,溶解有機(jī)物,微粒子,以及微生物指標(biāo)等.